कार्टर एक्साव्हेटरसाठी इंजिन प्रेशर सेन्सर 2CP3-68 1946725

कार्टर एक्स्कॅव्हेटर वैशिष्ट्यीकृत प्रतिमेसाठी इंजिन प्रेशर सेन्सर 2CP3-68 1946725

संक्षिप्त वर्णन:

OE:१९४६७२५

मापन श्रेणी:0-600 बार

मापन अचूकता:1% fs

अर्जाचे क्षेत्रःकार्टर मध्ये वापरले

आम्हाला ईमेल पाठवा

उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग

उत्पादन परिचय

प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत, खालील चरणांचा समावेश करून वैशिष्ट्यीकृत:

S1, मागील पृष्ठभाग आणि समोरच्या पृष्ठभागासह वेफर प्रदान करते; वेफरच्या पुढच्या पृष्ठभागावर पायझोरेसिस्टिव्ह पट्टी आणि जोरदारपणे डोप केलेले संपर्क क्षेत्र तयार करणे; वेफरच्या मागील पृष्ठभागावर खोदकाम करून दाब खोल पोकळी तयार करणे;

S2, वेफरच्या मागील बाजूस सपोर्ट शीट बांधणे;

S3, वेफरच्या पुढच्या बाजूला लीड होल आणि धातूच्या तारा तयार करणे आणि व्हीटस्टोन ब्रिज तयार करण्यासाठी पायझोरेसिस्टीव्ह स्ट्रिप्स जोडणे;

S4, वेफरच्या पुढील पृष्ठभागावर एक पॅसिव्हेशन लेयर जमा करणे आणि तयार करणे आणि मेटल पॅड क्षेत्र तयार करण्यासाठी पॅसिव्हेशन लेयरचा भाग उघडणे. 2. क्लेम 1 नुसार प्रेशर सेन्सरची निर्मिती पद्धत, ज्यामध्ये S1 मध्ये विशेषत: खालील पायऱ्यांचा समावेश आहे: S11: मागील पृष्ठभाग आणि पुढील पृष्ठभागासह वेफर प्रदान करणे आणि वेफरवरील दाब संवेदनशील फिल्मची जाडी परिभाषित करणे; S12: वेफरच्या पुढच्या पृष्ठभागावर आयन इम्प्लांटेशन वापरले जाते, पायझोरेसिस्टिव्ह पट्ट्या उच्च-तापमान प्रसार प्रक्रियेद्वारे तयार केल्या जातात आणि संपर्क क्षेत्र मोठ्या प्रमाणात डोप केलेले असतात; S13: वेफरच्या पुढील पृष्ठभागावर एक संरक्षक स्तर जमा करणे आणि तयार करणे; S14: दाब संवेदनशील फिल्म तयार करण्यासाठी वेफरच्या मागील बाजूस खोदणे आणि दाब खोल पोकळी तयार करणे. 3. दावा 1 नुसार प्रेशर सेन्सरची निर्मिती पद्धत, ज्यामध्ये वेफर SOI आहे.

1962 मध्ये, तुफ्ते आणि इतर. प्रथमच डिफ्यूज्ड सिलिकॉन पायझोरेसिस्टिव्ह स्ट्रिप्स आणि सिलिकॉन फिल्म स्ट्रक्चरसह पायझोरेसिस्टिव्ह प्रेशर सेन्सर तयार केले आणि पायझोरेसिस्टिव्ह प्रेशर सेन्सरवर संशोधन सुरू केले. 1960 च्या दशकाच्या उत्तरार्धात आणि 1970 च्या दशकाच्या सुरुवातीस, सिलिकॉन ॲनिसोट्रॉपिक एचिंग तंत्रज्ञान, आयन इम्प्लांटेशन तंत्रज्ञान आणि ॲनोडिक बाँडिंग तंत्रज्ञान या तीन तंत्रज्ञानाच्या देखाव्याने प्रेशर सेन्सरमध्ये मोठे बदल घडवून आणले, ज्याने प्रेशर सेन्सरची कार्यक्षमता सुधारण्यात महत्त्वाची भूमिका बजावली. . 1980 पासून, ॲनिसोट्रॉपिक एचिंग, लिथोग्राफी, डिफ्यूजन डोपिंग, आयन इम्प्लांटेशन, बाँडिंग आणि कोटिंग यांसारख्या मायक्रोमॅशिनिंग तंत्रज्ञानाच्या पुढील विकासासह, दाब सेन्सरचा आकार सतत कमी केला जात आहे, संवेदनशीलता सुधारली गेली आहे, आणि आउटपुट उच्च आहे. कामगिरी उत्कृष्ट आहे. त्याच वेळी, नवीन मायक्रोमशिनिंग तंत्रज्ञानाचा विकास आणि वापरामुळे प्रेशर सेन्सरची फिल्म जाडी अचूकपणे नियंत्रित होते.