कार्टर उत्खननकर्त्यासाठी इंजिन प्रेशर सेन्सर 2 सीपी 3-68 1946725

खालील चरणांचा समावेश करून प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची एक पद्धत:

एस 1, बॅक पृष्ठभाग आणि समोरच्या पृष्ठभागासह वेफर प्रदान करणे; वेफरच्या पुढच्या पृष्ठभागावर पायझोरेसिस्टिव्ह पट्टी आणि जोरदार डोप्ड संपर्क क्षेत्र तयार करणे; वेफरच्या मागील पृष्ठभागावर कोरून दबाव खोल पोकळी तयार करणे;

एस 2, वेफरच्या मागील बाजूस एक समर्थन पत्रक बाँडिंग;

एस 3, वेफरच्या पुढच्या बाजूला लीड होल आणि मेटल वायर्स उत्पादन आणि पिझोरेसिस्टिव्ह स्ट्रिप्सला व्हेटस्टोन ब्रिज तयार करण्यासाठी जोडणे;

एस 4, वेफरच्या पुढच्या पृष्ठभागावर एक पॅसिव्हेशन लेयर जमा करणे आणि तयार करणे आणि मेटल पॅड क्षेत्र तयार करण्यासाठी पॅसिव्हेशन लेयरचा भाग उघडणे. २. दाव 1 नुसार प्रेशर सेन्सरची उत्पादन पद्धत, ज्यात एस 1 मध्ये खालील चरणांचा समावेश आहे: एस 11: बॅक पृष्ठभाग आणि समोरच्या पृष्ठभागासह वेफर प्रदान करणे आणि वेफरवरील प्रेशर संवेदनशील चित्रपटाची जाडी परिभाषित करणे; एस 12: आयन इम्प्लांटेशनचा वापर वेफरच्या पुढच्या पृष्ठभागावर केला जातो, पायझोरेसिस्टिव्ह स्ट्रिप्स उच्च-तापमान प्रसार प्रक्रियेद्वारे तयार केल्या जातात आणि संपर्क प्रदेश मोठ्या प्रमाणात डोप असतात; एस 13: वेफरच्या पुढच्या पृष्ठभागावर संरक्षक थर जमा करणे आणि तयार करणे; एस 14: दबाव संवेदनशील चित्रपट तयार करण्यासाठी वेफरच्या मागील बाजूस दबाव खोल पोकळी तयार करणे आणि तयार करणे. 3. दाव 1 नुसार प्रेशर सेन्सरची उत्पादन पद्धत, ज्यामध्ये वेफर एसओआय आहे.

1962 मध्ये, तुफ्टे एट अल. प्रथमच डिफ्यूज्ड सिलिकॉन पायझोरसिस्टिव्ह स्ट्रिप्स आणि सिलिकॉन फिल्म स्ट्रक्चरसह पायझोरेसिस्टिव्ह प्रेशर सेन्सर तयार केला आणि पायझोरेसिस्टिव्ह प्रेशर सेन्सरवरील संशोधन सुरू केले. १ 60 s० च्या दशकाच्या उत्तरार्धात आणि १ 1970 s० च्या दशकाच्या उत्तरार्धात, सिलिकॉन एनिसोट्रॉपिक एचिंग तंत्रज्ञान, आयन इम्प्लांटेशन टेक्नॉलॉजी आणि एनोडिक बाँडिंग टेक्नॉलॉजी म्हणजेच दबाव सेन्सरमध्ये प्रेशर सेन्सरची कार्यक्षमता सुधारण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावणा three ्या तीन तंत्रज्ञानाचा देखावा. १ 1980 s० च्या दशकापासून, मायक्रोमॅचिनिंग तंत्रज्ञानाच्या पुढील विकासासह, जसे की एनिसोट्रोपिक एचिंग, लिथोग्राफी, डिफ्यूजन डोपिंग, आयन इम्प्लांटेशन, बाँडिंग आणि कोटिंग, प्रेशर सेन्सरचा आकार सतत कमी केला गेला आहे, संवेदनशीलता सुधारली गेली आहे, आणि आउटपुट जास्त आहे आणि कार्यक्षमता उत्कृष्ट आहे. त्याच वेळी, नवीन मायक्रोमॅचिनिंग तंत्रज्ञानाचा विकास आणि अनुप्रयोग प्रेशर सेन्सरची चित्रपटाची जाडी अचूकपणे नियंत्रित करते.