Passat इंधन कॉमन रेल प्रेशर सेन्सर 06E906051K ला लागू

1. प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची एक पद्धत, ज्यामध्ये हे समाविष्ट आहे:

सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट प्रदान करणे, ज्यामध्ये सेमीकंडक्टर सब्सट्रेटवर पहिला इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयर, पहिला इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयर आणि दुसरा इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयर तयार होतो.

पहिल्या इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरमध्ये एक खालची इलेक्ट्रोड प्लेट, खालच्या इलेक्ट्रोड प्लेटच्या समान स्तरावर स्थित पहिला म्युच्युअल इलेक्ट्रोड आणि अंतर ठेवलेला असतो.

कनेक्टिंग स्तर;

खालच्या ध्रुवीय प्लेटच्या वर एक यज्ञ स्तर तयार करणे;

पहिल्या इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरवर वरच्या इलेक्ट्रोड प्लेट तयार करणे, प्रथम इंटरकनेक्शन लेयर आणि बलिदान स्तर;

बलिदानाचा थर तयार केल्यानंतर आणि वरची प्लेट तयार करण्यापूर्वी, पहिल्या इंटरकनेक्शन लेयरमध्ये

कनेक्शन ग्रूव्ह तयार करणे, आणि पहिल्या इंटरकनेक्शन लेयरसह इलेक्ट्रिकली कनेक्ट करण्यासाठी वरच्या प्लेटसह कनेक्शन ग्रूव्ह भरणे; किंवा,

अप्पर इलेक्ट्रोड प्लेट तयार केल्यानंतर, वरच्या इलेक्ट्रोड प्लेटमध्ये कनेक्टिंग ग्रूव्ह तयार होतात आणि पहिला इंटरकनेक्शन लेयर, जो

वरच्या इलेक्ट्रोड प्लेटला जोडणारा एक प्रवाहकीय स्तर तयार करणे आणि कनेक्शन ग्रूव्हमध्ये प्रथम इंटरकनेक्शन लेयर;

वरच्या प्लेटला आणि पहिल्या इंटरकनेक्शन लेयरला इलेक्ट्रिकली जोडल्यानंतर, पोकळी तयार करण्यासाठी त्यागाचा थर काढून टाकला जातो.

2. दाव्यानुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत 1, ज्यामध्ये पहिल्या लेयरमध्ये

इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरवर बलिदान स्तर तयार करण्याच्या पद्धतीमध्ये खालील चरणांचा समावेश आहे:

पहिल्या इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरवर यज्ञ सामग्रीचा थर जमा करणे;

बलिदानाचा थर तयार करण्यासाठी त्यागाच्या साहित्याचा थर तयार करणे.

3. दावा 2 नुसार दाब सेन्सर तयार करण्याची पद्धत, ज्यामध्ये फोटोलिथोग्राफी आणि खोदकाम वापरले जाते.

यज्ञ सामग्रीचा थर कोरीव प्रक्रियेद्वारे नमुना बनविला जातो.

4. दाव्यानुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत 3, ज्यामध्ये त्यागाचा थर

सामग्री अनाकार कार्बन किंवा जर्मेनियम आहे.

5. दाव्यानुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत 4, ज्यामध्ये त्यागाचा थर

साहित्य अनाकार कार्बन आहे;

यज्ञ सामग्रीचा थर कोरण्याच्या प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या एचिंग वायूंमध्ये O2, CO, N2 आणि Ar यांचा समावेश होतो;

यज्ञ सामग्रीचा थर कोरण्याच्या प्रक्रियेतील मापदंड आहेत: O2 ची प्रवाह श्रेणी 18 SCCM ~ 22 SCCM आहे आणि CO चा प्रवाह दर 10% आहे.

प्रवाह दर 90 SCCM ते 110 SCCM, N2 चा प्रवाह दर 90 SCCM ते 110 SCCM आणि Ar चा प्रवाह दर श्रेणी आहे.

श्रेणी 90 SCCM ~ 110 SCCM आहे, दाब श्रेणी 90 mtor ~ 110 mtor आहे आणि बायस पॉवर आहे

540w-660w.