पासॅट इंधनास लागू

1. प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची एक पद्धत, ज्यात समाविष्ट आहे:

सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट प्रदान करणे, ज्यामध्ये प्रथम इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयर, पहिला इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयर आणि दुसरा इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयर सेमीकंडक्टर सब्सट्रेटवर तयार केला जातो.

पहिल्या इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरमधील लोअर इलेक्ट्रोड प्लेट, खालच्या इलेक्ट्रोड प्लेटच्या समान थरावर स्थित प्रथम म्युच्युअल इलेक्ट्रोड आणि अंतर अंतर.

कनेक्टिंग लेयर्स;

खालच्या ध्रुवीय प्लेटच्या वर बलिदानाचा थर तयार करणे;

पहिल्या इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरवर अप्पर इलेक्ट्रोड प्लेट तयार करणे, प्रथम इंटरकनेक्शन लेयर आणि यज्ञ थर;

बलिदानाचा थर तयार केल्यानंतर आणि पहिल्या इंटरकनेक्शन लेयरमध्ये वरील प्लेट तयार करण्यापूर्वी

कनेक्शनचे ग्रूव्ह तयार करणे आणि पहिल्या इंटरकनेक्शन लेयरसह इलेक्ट्रिकली कनेक्ट करण्यासाठी कनेक्शन ग्रूव्हला वरच्या प्लेटसह भरणे; किंवा,

अप्पर इलेक्ट्रोड प्लेट तयार केल्यानंतर, कनेक्टिंग ग्रूव्ह्स अप्पर इलेक्ट्रोड प्लेटमध्ये आणि प्रथम इंटरकनेक्शन लेयरमध्ये तयार होतात, जे

अप्पर इलेक्ट्रोड प्लेट आणि कनेक्शन ग्रूव्हमधील प्रथम इंटरकनेक्शन लेयरला जोडणारा प्रवाहकीय स्तर तयार करणे;

अप्पर प्लेट आणि प्रथम इंटरकनेक्शन लेयरला इलेक्ट्रिकली कनेक्ट केल्यानंतर, पोकळी तयार करण्यासाठी बलिदानाचा थर काढून टाकला.

2. क्लेम 1 नुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत, ज्यामध्ये पहिल्या थरात

इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरवर बलिदानाचा थर तयार करण्याच्या पद्धतीमध्ये पुढील चरणांचा समावेश आहे:

पहिल्या इंटरलेयर डायलेक्ट्रिक लेयरवर बलिदान मटेरियल लेयर जमा करणे;

बलिदानाचा थर तयार करण्यासाठी बलिदान सामग्रीच्या थराचे नमुना.

3. क्लेम 2 नुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत, ज्यात फोटोोलिथोग्राफी आणि कोरीव काम वापरले जाते.

बलिदानात्मक सामग्रीचा थर एचिंग प्रक्रियेद्वारे नमुना केला जातो.

4. क्लेम 3 नुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत, ज्यामध्ये यज्ञ थर

सामग्री अनाकार कार्बन किंवा जर्मेनियम आहे.

5. क्लेम 4 नुसार प्रेशर सेन्सर तयार करण्याची पद्धत, ज्यामध्ये यज्ञ थर

सामग्री अनाकार कार्बन आहे;

बलिदान सामग्रीच्या थरात एचिंगच्या प्रक्रियेत वापरल्या जाणार्‍या गॅसमध्ये ओ 2, सीओ, एन 2 आणि एआर समाविष्ट आहे;

बलिदान सामग्रीचा थर कोरण्याच्या प्रक्रियेतील पॅरामीटर्स आहेतः ओ 2 ची प्रवाह श्रेणी 18 एससीसीएम ~ 22 एससीसीएम आहे आणि सीओचा प्रवाह दर 10%आहे.

प्रवाह दर 90 एससीसीएम ते 110 एससीसीएम पर्यंत आहे, एन 2 चा प्रवाह दर 90 एससीसीएम ते 110 एससीसीएम पर्यंत आहे आणि एआरचा प्रवाह दर आहे.

श्रेणी 90 एससीसीएम ~ 110 एससीसीएम आहे, प्रेशर श्रेणी 90 एमटीओआर ~ 110 एमटीओआर आहे आणि बायस पॉवर आहे

540W ～ 660W。