पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सरची रचना

या सेन्सरमध्ये, रेझिस्टर स्ट्रिप मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन डायाफ्रामवर सिलिकॉन पायझोरेसिस्टिव्ह चिप बनवण्यासाठी इंटिग्रेशन प्रक्रियेद्वारे एकत्रित केली जाते आणि या चिपचा परिघ शेलमध्ये निश्चितपणे पॅक केला जातो आणि इलेक्ट्रोड लीड्स बाहेर नेल्या जातात. पायझोरेसिस्टिव्ह प्रेशर सेन्सर, ज्याला सॉलिड-स्टेट प्रेशर सेन्सर असेही म्हणतात, चिकट स्ट्रेन गेजपेक्षा वेगळे आहे, ज्याला लवचिक संवेदनशील घटकांद्वारे बाह्य शक्ती अप्रत्यक्षपणे जाणवणे आवश्यक आहे, परंतु सिलिकॉन डायफ्रामद्वारे मोजलेले दाब थेट जाणवते.

सिलिकॉन डायाफ्रामची एक बाजू उच्च-दाबाची पोकळी आहे जी मोजलेल्या दाबाशी संवाद साधते आणि दुसरी बाजू वातावरणाशी संवाद साधणारी कमी-दाबाची पोकळी असते. सामान्यतः, सिलिकॉन डायाफ्राम हे निश्चित परिघ असलेल्या वर्तुळाच्या रूपात डिझाइन केलेले असते आणि व्यास आणि जाडीचे प्रमाण सुमारे 20 ~ 60 असते. चार P अशुद्धता प्रतिरोधक पट्ट्या गोलाकार सिलिकॉन डायाफ्रामवर स्थानिक पातळीवर पसरलेल्या असतात आणि पूर्ण पुलामध्ये जोडल्या जातात, त्यापैकी दोन कंप्रेसिव्ह स्ट्रेस झोनमध्ये आहेत आणि इतर दोन टेन्साइल स्ट्रेस झोनमध्ये आहेत, जे डायाफ्रामच्या मध्यभागी सममितीय आहेत.

याव्यतिरिक्त, स्क्वेअर सिलिकॉन डायफ्राम आणि सिलिकॉन कॉलम सेन्सर देखील आहेत. सिलिकॉन दंडगोलाकार सेन्सर देखील सिलिकॉन सिलेंडरच्या क्रिस्टल प्लेनच्या एका विशिष्ट दिशेने प्रसार करून प्रतिरोधक पट्ट्यांचा बनलेला असतो आणि दोन तणाव प्रतिरोधक पट्ट्या आणि दोन संकुचित ताण प्रतिरोधक पट्ट्या पूर्ण पूल तयार करतात.

पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सर हे सेमीकंडक्टर मटेरियलच्या पिझोरेसिस्टिव्ह इफेक्टनुसार सेमीकंडक्टर मटेरियलच्या सब्सट्रेटवर डिफ्यूजन रेझिस्टन्सद्वारे बनवलेले उपकरण आहे. त्याचा सब्सट्रेट थेट मोजमाप सेन्सर म्हणून वापरला जाऊ शकतो आणि प्रसार प्रतिरोध पुलाच्या स्वरूपात सब्सट्रेटमध्ये जोडलेला असतो.

जेव्हा सब्सट्रेट बाह्य शक्तीने विकृत होते, तेव्हा प्रतिकार मूल्ये बदलतात आणि पूल संबंधित असंतुलित आउटपुट तयार करेल. पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सर म्हणून वापरलेले सबस्ट्रेट्स (किंवा डायफ्राम) हे प्रामुख्याने सिलिकॉन वेफर्स आणि जर्मेनियम वेफर्स आहेत. संवेदनशील पदार्थ म्हणून सिलिकॉन वेफर्सपासून बनवलेल्या सिलिकॉन पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सर्सने अधिकाधिक लक्ष वेधून घेतले आहे, विशेषत: दाब आणि गती मोजण्यासाठी सॉलिड-स्टेट पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सर्सचा सर्वाधिक वापर केला जातो.