पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सरची रचना

या सेन्सरमध्ये, रेझिस्टर पट्टी सिलिकॉन पायझोरेसिस्टिव्ह चिप बनविण्यासाठी एकत्रीकरण प्रक्रियेद्वारे मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉन डायाफ्रामवर समाकलित केली जाते आणि या चिपची परिघ शेलमध्ये निश्चितपणे पॅकेज केली जाते आणि इलेक्ट्रोड लीड्स बाहेर काढल्या जातात. पायझोरेसिस्टिव्ह प्रेशर सेन्सर, ज्याला सॉलिड-स्टेट प्रेशर सेन्सर देखील म्हटले जाते, चिकट स्ट्रेन गेजपेक्षा भिन्न आहे, ज्याला लवचिक संवेदनशील घटकांद्वारे बाह्य शक्ती अप्रत्यक्षपणे जाणवणे आवश्यक आहे, परंतु सिलिकॉन डायाफ्रामद्वारे थेट मोजलेले दबाव जाणवते.

सिलिकॉन डायाफ्रामची एक बाजू एक उच्च-दाब पोकळी आहे जी मोजलेल्या दबावासह संप्रेषण करते आणि दुसरी बाजू वातावरणाशी संवाद साधणारी एक कमी-दाब पोकळी आहे. सामान्यत: सिलिकॉन डायाफ्राम निश्चित परिघासह एक वर्तुळ म्हणून डिझाइन केले गेले आहे आणि व्यास ते जाडीचे प्रमाण सुमारे 20 ~ 60 आहे. चार पी अपवित्र प्रतिरोधक पट्ट्या गोलाकार सिलिकॉन डायाफ्रामवर स्थानिक पातळीवर विखुरल्या जातात आणि त्यापैकी दोन संकुचित ताणतणावात असतात आणि इतर दोन तणावग्रस्त असतात.

याव्यतिरिक्त, तेथे स्क्वेअर सिलिकॉन डायाफ्राम आणि सिलिकॉन कॉलम सेन्सर देखील आहेत. सिलिकॉन सिलेंड्रिकल सेन्सर देखील सिलिकॉन सिलेंडरच्या क्रिस्टल प्लेनच्या विशिष्ट दिशेने प्रसार करून प्रतिरोधक पट्ट्यांपासून बनविला जातो आणि दोन टेन्सिल स्ट्रेस प्रतिरोधक पट्ट्या आणि दोन कॉम्प्रेसिव्ह स्ट्रेस प्रतिरोधक पट्ट्या संपूर्ण पूल तयार करतात.

पायझोरेसिस्टिव्ह सेन्सर सेमीकंडक्टर मटेरियलच्या पायझोरेसिस्टिव्ह इफेक्टनुसार सेमीकंडक्टर मटेरियलच्या सब्सट्रेटवर प्रसार प्रतिरोधने बनविलेले एक डिव्हाइस आहे. त्याचे सब्सट्रेट थेट मोजण्याचे सेन्सर म्हणून वापरले जाऊ शकते आणि प्रसार प्रतिरोध पूलच्या स्वरूपात सब्सट्रेटमध्ये जोडलेला आहे.

जेव्हा सब्सट्रेट बाह्य शक्तीने विकृत केले जाते, तेव्हा प्रतिकार मूल्ये बदलतील आणि पूल संबंधित असंतुलित आउटपुट तयार करेल. पायझोरेस्टिव्ह सेन्सर म्हणून वापरलेले सब्सट्रेट्स (किंवा डायाफ्राम) प्रामुख्याने सिलिकॉन वेफर्स आणि जर्मेनियम वेफर्स आहेत. संवेदनशील सामग्री म्हणून सिलिकॉन वेफर्सपासून बनविलेले सिलिकॉन पायझोरसिस्टिव्ह सेन्सर अधिक आणि अधिक लक्ष वेधून घेत आहेत, विशेषत: दबाव आणि वेग मोजण्यासाठी सॉलिड-स्टेट पायझोरसिस्टिव्ह सेन्सर सर्वात जास्त प्रमाणात वापरले जातात.