सेमीकंडक्टर प्रेशर सेन्सर्सना दोन प्रकारांमध्ये विभागले जाऊ शकते, एक या तत्त्वावर आधारित आहे की सेमीकंडक्टर पीएन जंक्शन (किंवा स्कॉटकी जंक्शन) चे I-υ वैशिष्ट्ये तणावाखाली बदलतात.या दाब-संवेदनशील घटकाची कार्यक्षमता अतिशय अस्थिर आहे आणि ती फारशी विकसित झालेली नाही.दुसरा सेमीकंडक्टर पिझोरेसिस्टिव्ह इफेक्टवर आधारित सेन्सर आहे, जो सेमीकंडक्टर प्रेशर सेन्सरची मुख्य विविधता आहे.सुरुवातीच्या काळात, सेमीकंडक्टर स्ट्रेन गेज मुख्यतः लवचिक घटकांशी जोडलेले असत जेणेकरुन विविध ताण आणि ताण मोजण्याचे उपकरण बनवले जातील.1960 च्या दशकात, सेमीकंडक्टर इंटिग्रेटेड सर्किट तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, पिझोरेसिस्टिव्ह घटक म्हणून डिफ्यूजन रेझिस्टरसह सेमीकंडक्टर प्रेशर सेन्सर दिसू लागला.या प्रकारच्या प्रेशर सेन्सरमध्ये साधी आणि विश्वासार्ह रचना असते, कोणतेही सापेक्ष हलणारे भाग नसतात आणि सेन्सरचे दाब संवेदनशील घटक आणि लवचिक घटक एकत्रित केले जातात, जे यांत्रिक अंतर आणि रेंगाळणे टाळतात आणि सेन्सरचे कार्यप्रदर्शन सुधारतात.

सेमीकंडक्टरचा पायझोरेसिस्टिव्ह इफेक्ट सेमीकंडक्टरमध्ये बाह्य शक्तीशी संबंधित एक वैशिष्ट्य आहे, म्हणजेच, प्रतिरोधकता (ρ द्वारे दर्शविलेली) तो सहन करत असलेल्या ताणासह बदलतो, ज्याला पायझोरेसिस्टिव्ह इफेक्ट म्हणतात.युनिट तणावाच्या क्रियेखाली प्रतिरोधकतेच्या सापेक्ष बदलाला पायझोरेसिस्टिव्ह गुणांक म्हणतात, जो π चिन्हाद्वारे व्यक्त केला जातो.ρ/ρ = π σ असे गणितीयरित्या व्यक्त केले.

जेथे σ तणाव दर्शवतो.तणावाखाली सेमीकंडक्टर रेझिस्टन्समुळे होणारे रेझिस्टन्स व्हॅल्यू (R/R) चे बदल हे प्रामुख्याने रेझिस्टिव्हिटीच्या बदलाने ठरवले जातात, त्यामुळे piezoresistive इफेक्टची अभिव्यक्ती R/R=πσ म्हणून देखील लिहिता येते.

बाह्य शक्तीच्या कृती अंतर्गत, सेमीकंडक्टर क्रिस्टल्समध्ये विशिष्ट ताण (σ) आणि ताण (ε) निर्माण होतात आणि त्यांच्यातील संबंध यंगच्या मॉड्युलस (Y) द्वारे निर्धारित केले जातात, म्हणजेच Y=σ/ε.

जर पिझोरेसिस्टिव्ह प्रभाव अर्धसंवाहकावरील ताणाने व्यक्त केला असेल, तर तो R/R=Gε आहे.

G ला प्रेशर सेन्सरचा संवेदनशीलता घटक म्हणतात, जो युनिट स्ट्रेन अंतर्गत प्रतिकार मूल्याच्या सापेक्ष बदलाचे प्रतिनिधित्व करतो.

Piezoresistive गुणांक किंवा संवेदनशीलता घटक अर्धसंवाहक piezoresistive प्रभाव मूलभूत भौतिक मापदंड आहे.त्यांच्यातील संबंध, तणाव आणि ताण यांच्यातील संबंधांप्रमाणेच, यंगच्या सामग्रीच्या मॉड्यूलसद्वारे, म्हणजे g = π y द्वारे निर्धारित केले जाते.

लवचिकतेमध्ये अर्धसंवाहक क्रिस्टल्सच्या ॲनिसोट्रॉपीमुळे, यंगचे मॉड्यूलस आणि पिझोरेसिस्टिव्ह गुणांक क्रिस्टल अभिमुखतेसह बदलतात.सेमीकंडक्टर पायझोरेसिस्टिव्ह इफेक्टची परिमाण देखील सेमीकंडक्टरच्या प्रतिरोधकतेशी जवळून संबंधित आहे.प्रतिरोधकता जितकी कमी तितका संवेदनशीलता घटक कमी.डिफ्यूजन रेझिस्टन्सचा पिझोरेसिस्टिव्ह इफेक्ट क्रिस्टल ओरिएंटेशन आणि डिफ्यूजन रेझिस्टन्सच्या अशुद्धता एकाग्रतेद्वारे निर्धारित केला जातो.अशुद्धता एकाग्रता प्रामुख्याने प्रसार स्तराच्या पृष्ठभागावरील अशुद्धतेच्या एकाग्रतेचा संदर्भ देते.